以集中凈化空調系統(tǒng),在整個房間內造成具有相同潔凈度環(huán)境的凈化處理方式,叫潔凈車間。這是潔凈技術中最早發(fā)展起來的一種方式,并且現(xiàn)在也仍然被采用。這種方式適合于工藝設備高大,數(shù)量很多,且室內要求相同潔凈度的場所。但是這種方式投資大、運行管理復雜、建設周期長。
1、保持凈化車間達到一定的濕度,大家都知道北方地區(qū)或在干燥的冬季,所以靜電產(chǎn)生的故障要遠遠大于在東南沿海地區(qū)或其他季節(jié),因此在一些重要場所,例如 計算機機房、半導體凈化車間、電子儀器的裝配車間應考慮保持一定濕度的問題,特別是對那些封閉形的空調房間,更應有一定控制濕度的設備。
2、半導體器件應盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中,這種防靜電盛放器有良好導電性能,能有效防止靜電的產(chǎn)生。當然,有條件的應盛放在金屬盛放器內或用金屬箔包裝。
3、使用離子風槍、離子頭、離子棒等設施,使在一定范圍內防止靜電產(chǎn)生。
4、鋪設防靜電地板或地毯。目前已有這種具有一定導電性能的塑料地板或地毯產(chǎn)品,能十分有效抑制由于人的行走產(chǎn)生靜電。
5、對于操作人員應在手腕上帶防靜電手帶,這種手帶應有良好的接地性能,這種措施最為有效。
潔凈車間潔凈等級劃分的原因:
1.亂流式:空氣由空調箱經(jīng)風管與潔凈室內之空氣過濾器進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
2.層流式:層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其形式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
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